真空室形式 | 真空室形式為分體式結構 |
箱體尺寸 | 箱式前開門、內腔尺寸約Φ550×620mm,SUS304材料 |
極限真空 | 3.0×10-4Pa |
恢復真空度 | 大氣→3×10-3Pa≤15min |
真空系統配置 | 分子泵、直聯泵、閥門及管道 |
真空系統測量 | 數字顯示自動真空測量儀(電阻規+金屬電離規) |
系統操作(觸摸屏) | 自動PLC/手動 |
上、下機票設計為自動定位,上片自動夾持 | |
蒸發源 | 電阻蒸發源及其他相關件組成 |
該設備專門為晶體行業設計及制造,用于各類晶體在高真空狀態下的壓封及組合(真空壓合),可一次性完成鍍膜-壓封,將兩片晶體緊密地粘接;真空系統采用分子泵+直聯泵。