計算參數 | DL-2000H | 備注 |
真空室規格 mm | Ø2000*1400 | 直徑高度 |
真空室形式 | vertical type | |
門數量 | Inspection window | 單或雙開門 |
極限真空 | 7.8×10-4 | 空載 |
真空系統 Pa | 分子泵+羅茨泵機組+維持泵 | |
工作真空 Pa | 7.0×10-3≤10min | 空載≤min 滿載≤11min |
顯示屏類、手機類、車載類產品制造生產的專用、關鍵設備。該設備配置磁控濺射靶、離子源及專用蒸發電源;裝卸產品的快速、方便,是目前通用的方式。